据FabTech网站报道，AvizaTechnology称，中国大陆一家关键晶圆厂订购了OmegafxP刻蚀设备，该设备配备有两个ICP（感应耦合等离子）工艺模块。

    该设备将用于功率器件的硅沟槽刻蚀及多晶硅的背部刻蚀工艺。

    Aviza为此OmegafxP刻蚀设备订单的获得而自豪，Aviza公司PVDCVD刻蚀事业部副总裁兼总经理KevinCrofton表示，Aviza的SigmafxPPVD此前在该客户工厂成功安装，充分展示了Aviza一流的技术及我们队客户的承诺，为此次订单的获得起到了积极作用。 

来源：FabTech网站